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中圖儀器SJ5900高精度光學(xué)曲面粗糙度輪廓測量儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的高精度光學(xué)曲面測量儀。它采用超高精度納米衍射光學(xué)測量系統(tǒng)、超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、高性能直流伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、高穩(wěn)定性氣浮隔震系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù),實(shí)現(xiàn)對球面及非球面光學(xué)元器件表面粗糙度和輪廓的高精度測量和分析。
專業(yè)為非球面鏡片的大曲面測試,通過高穩(wěn)定性的氣浮隔震系統(tǒng)保證儀器不受外界振動(dòng)影響,計(jì)算機(jī)采用高精度標(biāo)定系統(tǒng)對采樣數(shù)據(jù)進(jìn)行修正標(biāo)定,最終還原出工件輪廓信息并以曲線圖顯示出來,通過軟件提供的分析工具可對輪廓及微觀輪廓進(jìn)行非球面參數(shù)分析、各種粗糙度參數(shù)、輪廓參數(shù)分析。
測量功能
1.非球面基本參數(shù)輸入功能:凸凹形狀、R-頂點(diǎn)半徑、K-圓錐常數(shù),多次項(xiàng)常數(shù):A1、A2…A40等;
2.非球面參數(shù)測量評定:微觀輪廓參數(shù)Pt、Pa、Fig;傾角參數(shù)Smn、Smx;水平軸線夾角Tilt;光軸與輪廓的距離參數(shù)Xp、Xv、Xt;均方根粗糙度參數(shù)RMS;斜率參數(shù)Slpe mx、Slpe mx(x)、Slpe rms、Slpe ave;勾選優(yōu)化半徑后計(jì)算頂點(diǎn)半徑誤差參數(shù)Radius Err等。
3.表面粗糙度評定: R參數(shù)、P參數(shù)、W參數(shù)、核心粗糙度Rcore、Motif等微觀粗糙度參數(shù)。
4.支持輪廓分析功能:創(chuàng)建坐標(biāo)、量測工具、構(gòu)建特征、可測幾何量、形位公差等功能。
5.SJ5900高精度光學(xué)曲面粗糙度輪廓測量儀具備自動(dòng)找拐點(diǎn)功能,能按照程序設(shè)置進(jìn)行X軸自動(dòng)找拐點(diǎn)。
產(chǎn)品優(yōu)勢
nm級高精密光學(xué)曲面測量
1.具有12mm~24mm的大量程粗糙度測量范圍,分辨率高達(dá)0.1nm,系統(tǒng)殘差小于3nm。
2.高穩(wěn)定性的隔震系統(tǒng),自帶隔震氣浮系統(tǒng),外界的噪聲及其他氣流通過儀器的玻璃罩進(jìn)行了隔離,能確保高精度高穩(wěn)定度的測量特殊的光學(xué)元器件表面輪廓及粗糙度參數(shù)。
3.超高直線度研磨級摩擦導(dǎo)軌、特殊紅寶石轉(zhuǎn)軸系統(tǒng)提供轉(zhuǎn)動(dòng)的超高靈敏度及測量精度。
4.高穩(wěn)定的驅(qū)動(dòng)設(shè)計(jì),確保了驅(qū)動(dòng)運(yùn)行過程中不產(chǎn)生任何的振動(dòng)及干擾,保障了系統(tǒng)掃描運(yùn)動(dòng)精度。
5.專用標(biāo)定器能對儀器的參數(shù)和測針針尖磨損進(jìn)行修正補(bǔ)償,使其滿足高精度輪廓測量。
非球面光學(xué)測量與分析軟件系統(tǒng)
1.超智能的非球面光學(xué)軟件分析系統(tǒng),專業(yè)定制的非球面測量軟件系統(tǒng),非球面全參數(shù)都能測量。
2.根據(jù)GB/T、ISO、JIS等標(biāo)準(zhǔn),自動(dòng)評價(jià)粗糙度。
3.對于簡單的工件只需要設(shè)置測量長度即可一鍵測量。
對于復(fù)雜的工件,可以工件的任意位置進(jìn)行分段測量,并做成模板便于輪廓批量測量。
4、CNC固定坐標(biāo)系模式下,可快速精確地進(jìn)行輪廓批量測量。
5.自動(dòng)保存測量結(jié)果,測量完成后可輸出測量報(bào)告,形式多樣。
6.軟件操作界面簡潔直觀,任何人都能輕松設(shè)定和測量。
智能靈活儀器操縱設(shè)計(jì)
1.測針一鍵拔插,特殊設(shè)計(jì)的高剛性拔插結(jié)構(gòu),無需鎖螺釘,方便快捷、穩(wěn)定可靠。
2.智能微測力系統(tǒng),0.5-3mN 測力檔位可調(diào),可滿足不同工件表面測量要求,特別是光學(xué)鏡片。
3.各個(gè)運(yùn)動(dòng)軸都有進(jìn)行硬件及軟件保護(hù),降低人員因操作失誤帶來的測針及儀器損傷。
4.帶舵機(jī)結(jié)構(gòu),可防止掃描陡坡時(shí)的快速下墜。
5.組合調(diào)節(jié)控制手柄可快速完成載物臺(tái)平移,X軸和Z軸定位,測桿上下擺動(dòng)及速度分級調(diào)節(jié)功能。
6.電動(dòng)Y軸臺(tái),可實(shí)現(xiàn)單獨(dú)Y軸、XY軸組合自動(dòng)找拐點(diǎn),減少人工找拐點(diǎn)帶來的誤差。
SJ5900光學(xué)曲面測量儀廣泛應(yīng)用于精密機(jī)械加工、汽車、軸承、機(jī)床、模具、精密五金等行業(yè)。該儀器可以對零件表面,尤其是大范圍曲面,如圓弧面和球面、異型曲面等進(jìn)行檢測,可分析出非球面參數(shù)、多種粗糙度參數(shù)、微觀輪廓度參數(shù)。是大曲面測量(光學(xué)鏡片、光學(xué)精密模具、軸承、人工關(guān)節(jié)、齒輪、葉片)領(lǐng)域精細(xì)粗糙度測量的利器。
部分技術(shù)規(guī)格
型號 | SJ5900-100 | |
輪廓參數(shù) | 測量范圍 | X:0~100mm |
立柱:0~300mm | ||
Z:±6mm(標(biāo)準(zhǔn)測針桿)(±12mm:選擇兩倍測針桿時(shí)) | ||
掃描速度 | 0.05~5mm/s | |
測量力 | 0.5mN、0.75mN、1mN、2mN、3mN(電子檔位可調(diào)) | |
粗糙度參數(shù) | 適用Ra測量范圍 | Ra0.012μm~Ra12.5μm(可選更大范圍) |
示值誤差 | Ra0.012μm ~ Ra3.2μm: ≤±(3nm+2.0%A)(A:測量Ra標(biāo)稱值,μm) Ra3.201μm ~ Ra12.5μm: ≤±(3nm+3.5%A)(A:測量Ra標(biāo)稱值,μm) | |
非球面測量參數(shù) | 微觀輪廓參數(shù):Pt、Pa、Fig; 傾角參數(shù):Smx、Smn; 水平軸線夾角參數(shù):Tilt; 光軸與輪廓的距離參數(shù):Xp、Xv、Xt; 均方根粗糙度參數(shù):RMS; 斜率參數(shù):Slpe mx、Slpe mx(x)、Slpe rms、Slpe ave; 頂點(diǎn)半徑誤差參數(shù):Radius Err。 | |
粗糙度測量參數(shù) | R粗糙度: Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,RPc,Rdq,Rdc,Rmr,Rmax,Rpm,tp,Htp,Pc,Rda,Ry,Sm,S,Rpc,RzJ; 核心粗糙度Rcore: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo; P輪廓參數(shù): Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,PPc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax; W波紋度輪廓參數(shù): Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr,Wpc,Wc; Motif參數(shù):R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte; 符合標(biāo)準(zhǔn): GB/T 3505-2009,ISO 4287:1997,ISO13565-2:1996,ASME B46.1-2002, DIN EN ISO 4287:2010,JIS B 0601:2013,JIS B 0601-1994, JIS B 0601-1982,ISO 1302:2002 |
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